各式真空泵的工作原理 無(wú)油干式機(jī)械真空泵（又簡(jiǎn)稱(chēng)干式機(jī)械泵）指泵能從大氣壓力下開(kāi)始抽氣。泵腔內(nèi)無(wú)油或其他工作介質(zhì)，又能將被抽氣體直接排到大氣中去。而且泵的極限壓力與油 封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵。 目前。泵內(nèi)起冷卻、密封、潤(rùn)滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充 任泵的工作介質(zhì)。原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問(wèn)題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì) 量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護(hù)本錢(qián)。其次，由于某些工藝過(guò)程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重蛻變，使泵不能正常工作。 對(duì)于普通的無(wú)油真空系統(tǒng)來(lái)說(shuō)。但不能完全解決問(wèn)題，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類(lèi)附件來(lái)防止返流。而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式 機(jī)械真空泵，則可以達(dá)到理想的使用效果。 干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的主要有以下幾個(gè)方面： 1低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中； 2半導(dǎo)體刻蝕工藝。這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒； 3除半導(dǎo)體工藝外的某些發(fā)生微粒的工藝。而希望微粒排出泵外，不希望微?；烊氡糜椭?。則用干式機(jī)械真空泵可以滿足要求； 4化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵； 5用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。 近年來(lái)。國(guó)外多家大真空公司都研制出了新型的干式機(jī)械真空泵。國(guó)內(nèi)的許多單位也一直在進(jìn)行干式機(jī)械真空泵的開(kāi)發(fā)研制工作，干式機(jī)械真空泵得到迅速的發(fā)展。 如東北大學(xué)、沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。目前，干式機(jī)械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式真空泵主要有葉片式、凸輪式、往復(fù)活塞 式、膜片式等，這類(lèi)泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比（單級(jí)壓縮比）非接觸型的干式泵有：羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用于大容量， 低壓縮比（指單級(jí)壓縮比）不同類(lèi)型的干式泵具有各自的特點(diǎn)。使用時(shí)可根據(jù)不同的用途加以選擇。 油封式真空泵是用油來(lái)堅(jiān)持運(yùn)動(dòng)部件的密封、靠泵腔容積變化而實(shí)現(xiàn)抽氣的機(jī)械真空泵統(tǒng)稱(chēng)。工作原理都是使泵腔工作室容積機(jī)械地增大和縮小而抽氣。當(dāng)泵腔內(nèi)工 作室容積變得最小時(shí)。于是氣體進(jìn)入泵吸入腔，與泵的入口管道連通。一直到吸入腔容積最大偏重新與進(jìn)氣口分開(kāi)時(shí)為止。當(dāng)容積減少時(shí)，氣體被壓縮，直到氣體的 壓力大于一個(gè)大氣壓，排氣閥被打開(kāi)，將氣體排出。 用油作密封泵的必要性：當(dāng)前大量使用的機(jī)械真空泵。相向運(yùn)動(dòng)的零件間配合精度即使很高。泵達(dá)到極限真空時(shí)，即使設(shè)計(jì)得最好。也難以阻止氣體由低真空端向入 口端“突破”返流。另外，由于泵在設(shè)計(jì)制造及裝配中不可防止地存在有害空間，這也降低泵的極限真空度。油封式真空泵就是用油將相向運(yùn)動(dòng)的零部件和排氣閥零 件間密封起來(lái)；將有害空間充填，使得高壓氣體反“突破”機(jī)會(huì)少得多，密封性能也就好得多，從而使泵能達(dá)到較高的真空度。歡迎你訪問(wèn)上海耐勵(lì)泵業(yè) http://www.shnaili.com/